Ultrasonisk spraybeleggmaskin for halvleder- og fotoresistapplikasjoner
Ved halvlederproduksjon krever påføring av fotoresist, polyimider og andre funksjonelle tynne filmer absolutt presisjon. Selv mikroskopiske variasjoner i filmtykkelse kan føre til katastrofal komponentsvikt. Ved hjelp av en avansertUltrasonisk spraybeleggmaskin gjør det mulig for halvlederprodusenter å oppnå svært jevne, tynne-filmbelegg på komplekse topografier, inkludert dype grøfter og mikrostrukturer med høyt-aspekt-forhold som tradisjonelt spinnbelegg ikke effektivt kan dekke.
Overvinne begrensningene ved Spin Coating
Selv om spinnbelegg er en standardprosess i industrien, sliter den iboende med ikke-plane underlag, firkantede underlag eller wafere med dype hulrom, noe som ofte fører til ujevne kantperler eller tomme lommer. En sprayformingsmaskin med ultralyddyse løser dette ved å levere en svært kontrollert, forstøvet tåke direkte over målområdene. Den skånsomme sprayen med lav-hastighet lar væsken legge seg jevnt inne i mikro-rillene uten å etterlate luftlommer eller forårsake at materialet samler seg.
Utviklet for renromsmiljøer med høy-pålitelighet
Halvlederproduksjon krever utstyr som fungerer pålitelig under strenge renromsforhold.FUNSONISKdesigner og produserer kommersielt-ultralydutstyr som integreres sømløst i automatiserte wafer-behandlingslinjer. Systemene våre er bygget med materialer med høy-renhet for å forhindre kjemisk kontaminering og sikre konsistent væskedynamikk under lange produksjonssykluser.
FUNSONISKgi standardmodeller samt skreddersydde, tilpassede konfigurasjoner for å passe til ditt renrom, krav til væskeviskositet og målgjennomstrømning. La oss hjelpe deg med å maksimere waferutbyttet og redusere kostbart kjemikalieforbruk.
Få et raskt teknisk tilbud fra vår B2B servicedesk:
E-post:tina@fun-sonic.com
Hotline: +86-571-63325803
Mobil: +8618966176048
