Ultrasonisk spraypyrolyseutstyr og TCO -beleggssystem
Ensartet tynnfilm indium tinnoksyd (ITO), dopet aluminium dopet sinkoksid (azo), sinkoksid (ZnO) og fluortopede oksydlag produseres vanligvis ved ultralydspray pyrolyseteknologi. Denne unike prosessen krever spesialisert beleggutstyr for å skape nødvendig beleggtykkelse og form, og for å spraye etsende løsninger i miljøer med høy temperatur.
Under høye temperaturer ultrasonisk spraypyrolyse blir forløperløsningen (slik som aluminium-sinkoksid) sprayet på underlaget oppvarmet til omtrent 300-500 grad. Oppløsningsmidlet fordamper under transport, og en ZnO -krystallfilm vokser på underlagsoverflaten, vanligvis natriumkalsium eller annet glass. Underlagstemperaturen bestemmer vanligvis filmens morfologiske egenskaper.
Ultrasonisk spray våt deponering gir produsenter et kostnadseffektivt alternativ til vakuumavsetning og sputtering, med høyere overføringseffektivitet. Dråpestørrelsen generert av den ultrasoniske forstøvet er svært ensartet, noe som kan oppnå den optimale størrelsen på dråper for pyrolysereaksjon, og alle dråper vil reagere samtidig på samme måte under deponeringsprosessen. Enten det er forskning og utvikling eller masseproduksjon, vil dette gi effektive TCO -produksjonsprosesser.
Bruken av Funsonic Ultrasonic dyse overvinner prosessutfordringen med å spraye svært etsende syrer. Dysen er laget av korrosjonsresistente strukturelle materialer og har egenskapene til ingen blokkering, repeterbarhet og lang levetid. Det kan til og med spraye svært etsende saltsyre eller hydrofluorsyreoppløsninger.
Fordeler med ultrasonisk spraypyrolysesystem for TCO -belegg:
1. Sammenlignet med CVD (kjemisk dampavsetning) prosess, er ultralydspraypyrolyse enkel, fleksibel og kostnadseffektiv.
2. Bevist TCO -beleggskompetanse.
Sammenlignet med andre sprøytemetoder, kan ultralyddyser avsette mer ensartede lag.
4. Lett å justere og repeterbare beleggparametere.
5. Fullt integrert patentert ultralyddyseteknologi og flytende levering, og gir en komplett beleggløsning.
Alternative spraypyrolyse med lav temperatur (250 grader og under) prosesser dukker kontinuerlig frem, og mer forskning og utvikling har blitt utført på kjemikalier som ikke trenger målsubstrater med høy temperatur.
