Ultralydsprøytingsteknologi for vakuumdampavsetning
Ultralydomomiseringssystemet brukes til integrering i et vakuumkammer. Gjennom eksperimenter har det blitt bevist at den unike Ultrasonic Atomization Spraying System Design kan integreres i en vakuumforseglet plattform, egnet for anvendelser som polymerdampavsetning (PVD) og metall organisk kjemisk dampavsetning (MOCVD). Den karakteristiske lavhastighetsomomiseringen generert av det ultrasoniske forstøvningssystemet kan produsere en dampsky med tett dråpefordeling og frekvensstyrt dråpestørrelse. På grunn av det faktum at ultralydomomisering av dyser fungerer ved å konvertere høyfrekvente lydbølger til mekaniske vibrasjoner, blir væsken i kontakt med dyseoverflaten forstøvet uten å tilsette luft eller gass, så integriteten til vakuumkammeret blir ikke svekket under sprøytingsprosessen.
Ultrasonic Generator -teknologien integrert i det ultrasoniske forstøvningssystemet for forstøvning gir nødvendig elektrisk energi for forstøvning og er utstyrt med avansert belastningsbalanseringsfunksjon, som automatisk kan tilpasse seg for å tilpasse seg forskjellige vakuumforhold, og dermed opprettholde de mest stabile sprøytegenskapene under vakuumdeposisjonsprosessen.
Det ultrasoniske forstøvningssystemet er egnet for vakuummiljøer med høy temperatur og har kjølekapasitet og temperaturovervåkningsfunksjon for å sikre passende termisk beskyttelse.
Fordeler med vakuumkammerpåføring:
- Elektroniske enheter designet for belastningsbalansering
- Høy temperaturbeskyttelse og overvåking
- Unik vakuumtilstand væskestrømningsbegrensningsdesign
- Atomisering genereres i fravær av luft/gass, og opprettholder vakuumintegritet
